详细介绍

该多腔注塑模具专为多尺寸橙色紫外线屏蔽PFA光罩存储壳体定制，充分优化PFA的高化学惰性、低颗粒发射和阻光特性，消除PFA成型缺陷，如表面流动条纹、盒体变形和扣条闪光，这些都可能污染精密光罩。

分体固定移动两板模具采用对称多排腔体布局，实现三款不同尺寸光罩盒的批量生产，如图所示，每组由上盖、底部底座和集成卡扣组成。每个方形盒腔都是独立嵌入式插芯，便于快速拆卸、无残留深度清洁和尺寸切换。所有成型表面都经过多阶段无颗粒高光泽抛光，去除微毛刺和内部积尘盲角，消除可能产生微小颗粒的二次抛光。

每个腔体都布置了独立分布式冷却管道，以精确控制连续高温PFA注塑成型中的模具温度，有效抑制不均匀的壁体收缩、大尺寸箱体弯曲和卡扣变形。内置精密互锁滑套锁块在长周期洁净室大规模生产下保持稳定夹紧力，防止薄壁盒边缘和屈曲接触面出现微闪光，避免刮花精密光罩玻璃基材，并在循环氟聚合物高温加工下延长模具使用寿命。

完整的精密加工工作流程

1. 五轴数控粗铣用于模具底轮廓和方形多尺寸箱腔粗成型
2. 真空应力释放热处理，稳定钢硬度并减少长时间高温PFA成型下的热变形
3. 精密表面磨削以控制模板平整度和平行度，控制在±0.002毫米内
4. Sinker EDM 和 Wire Cut WEDM 用于超细卡扣、阶梯箱壁和定位凸台轮廓
5. 多级无颗粒高温耐抛光配合PFA熔融流性
6. 可选的超洁净防腐蚀表面涂层，兼容半导体级PFA原料

所有模具芯、腔体和结构部件均完成完整的三维坐标测量检测，以满足严格的半导体光罩包装图纸公差标准。支持基于光罩盒样品或工程图纸的全面定制：腔体数量、模具钢级、冷却电路布局和抛光等级可根据半导体PFA纯度等级、洁净室100/1000级标准及日产能进行调整。对称多腔布局大大提升了成型效率，同时统一了所有PFA光罩存储外壳的紫外线屏蔽一致性、盒体平整度和无颗粒表面性能。

规格表